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气体传感器

发布时间:2020-03-17 11:24人气:

具有低应力复合介质成膜、高精度金属lift-off、高质量湿法腐蚀等关键工艺能力,可实现应用于气体传感器微加热平台、MEMS流量传感器等器件的批产工艺加工。

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